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  干净空间的温湿度次如果按照工艺要求来确定,但在餍足工艺要求的前提下,招思量到人的舒服度感。跟着氛围干净度要求的提高,呈现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋向。具体工艺对温度的要求当前还要枚举,要求当前还要枚举风淋室资讯但作为总的准绳看,因为加工精度越来越精细,所以对温度颠簸范畴的要求越来越小。比方在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就惹起了0。24um线度的恒温,同时要求湿度值正常较低,由于人出汗当前,对产物将有污染,出格是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜跨越25度,湿渡过高发生的问题更多。相对湿度跨越55%时,冷却水管壁上会结露,风淋室价格具体工艺对温度的若是产生在细密安装或电路中,就会惹起各类变乱。相对湿度在50%时易生锈。湿度太高时将通过氛围中的水分子把硅片概述粘着的尘埃?

  在概述难以断根。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又因为静电力的感化使粒子也容易吸附于表。

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